仪器型号

KLA iMicro

放置地点

伍达观楼 101 室

资产编号

2023068336

生产厂商

KLA Corporation

国别

美国

仪器负责人

孙诗杰

所属单位

分析测试研究中心

详细信息

性能指标

InQuest高速控制器电路，数据采集速率可达100kHz，时间常数最快为20µs

XY运动系统以及易于安装的磁性样品台，高刚度框架，且集成隔振功能，集成显微镜，数字变焦，可实现精确的压痕定位，符合ISO 14577等标准的测试方法。

主要应用

硬度和模量测量（基于Oliver-Pharr模型），快速材料力学性能成像，ISO 14577 硬度测试，聚合物损耗因子、储存模量和损耗模量，定量的划痕和磨损测试。

样品要求

测试表面平整，需打磨抛光，必要时需要镶嵌；合金材料（若要分析不同相的显微硬度，需要磨金相），半导体晶圆可直接测试。样品示例如下：

仪器说明

iMicro专为压痕、硬度、划痕测试和多元化纳米级测试等纳米级力学测试设计。具有多量程加载驱动器，在宽泛的的荷载和位移的范围内进行测量。能够测试包括软质高聚物到硬质涂层和薄膜等在内的各种材料。模块化系统选项可以完成各种不同应用：特定频率测试、定量划痕和磨损测试。

iMicro还可以为以下材料和行业进行纳米压痕测试和抗蠕变性测量：硬涂层、陶瓷与玻璃、金属与合金、复合材料、医药器械、半导体、电池与储能材料、汽车与航空航天、涂层与油漆。

收费标准

校内用户

纳米压痕测试：

单一刚度：<5个点（500元），6~10个点（1000元），11~15个点（1500元）。

连续刚度：<5个点（500元），同一个样品多增加1点加100元。

Mapping（>100个点）：2000元。

纳米划痕测试：≤3条（650元），每多增1条加150元。

校外用户

纳米压痕测试：

单一刚度：<5个点（500元），6~10个点（1000元），11~15个点（1500元）。

连续刚度：<5个点（500元），同一个样品多增加1点加100元。

Mapping（>100个点）：2000元。

纳米划痕测试：≤3条（650元），每多增1条加150元。