发布时间：2025.11.17 作者： 浏览次：
仪器设备介绍
仪器名称
离子溅射仪
仪器图片
仪器型号
Quarum150T-S
放置地点
莲华校区图书馆南侧一楼电镜室
资产编号
无
生产厂商
英国Quarum公司
国别
英国
仪器负责人
周烈兴
所属单位
分析测试研究中心
详细信息
性能指标
可以进行扫描电镜埃级非晶膜层的溅射
主要应用
1.扫描电镜不导电样品喷铂：对于扫描电镜形貌观察不导电样品，可以进行不同非晶膜层的溅射，达到既不影响形貌观察，又起到导电的作用；
2.多层膜制备：通过更换不同的靶材实现多层膜的制备。
样品要求
样品高度不能超过样品仓高度；
仪器说明
目前只配备了铂靶，进行扫描电镜不导电样品喷铂溅射。
收费标准
校内用户
溅射时间≤100S,200元/次；100S<溅射时间≤200S,400元/次；200S<溅射时间≤300S,600元/次；溅射时间每增加100S，价格梯度因时间递增翻倍。溅射其它金属膜根据靶材价格另议。
校外用户
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