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离子溅射仪

发布时间:2025.11.17 作者: 浏览次:

仪器设备介绍

仪器名称

离子溅射仪

仪器图片

仪器型号

中兴百瑞

放置地点

莲华校区图书馆南侧一楼电镜室

资产编号

生产厂商

中兴百瑞公司

国别

中国

仪器负责人

周烈兴

所属单位

分析测试研究中心

详细信息

性能指标

可以进行扫描电镜导电膜层的溅射

主要应用

1.扫描电镜不导电样品喷金:对于扫描电镜形貌观察不导电样品,可以进行不同膜层的溅射,达到既不影响形貌观察,又起到导电的作用;

2.多层膜制备:通过更换不同的靶材实现多层膜的制备。

样品要求

样品高度不能超过样品仓高度

仪器说明

目前只配备了金靶,进行扫描电镜不导电样品喷金溅射。

收费标准

校内用户

100元/次  每次喷金时间≤110S。

校外用户

100元/次  每次喷金时间≤110S。

电话:0871-65183516(接样室) 0871-65111358(办公室)邮箱:ynatrc@kust.edu.cn地址:云南省昆明市学府路304号邮编:650031 滇ICP备14002063号-1