仪器型号

SolarusⅡ955

放置地点

莲华校区图书馆南侧一楼电镜室

资产编号

2023068339

生产厂商

Ganta

国别

美国

仪器负责人

杨唯一

所属单位

分析测试研究中心

详细信息

性能指标

1 具有H2，O2，Ar三组分通道，每种气氛独立可控，流量积配比用户可自由设定；

2 无油真空系统：泵体部分由多级隔膜泵和80L/s超静音分子泵组成，在保证真空度的同时，可在两分钟之内达到抽真空和放气过程；

3等离子体功率可调节，功率2-65 W自由设定

4重现性：可以自动记录下同类产品清洗的条件，下次清洗同类产品时可同样条件进行

5含干泵系统：可同时存储四根样品杆

主要应用

1.透射电镜样品清洗：防止碳沉积以降低图像分辨率及对样品微区分析造成误判，经过清洗后的样品进入电镜观察可获得更佳的高分辨图像；

2.透射电镜样品杆清洗：可清洗大部分标准透射电镜样品杆；

3.扫描电镜样品清洗：可清洗扫描电镜样品载台及不规则样品，样品室直径≥6.5cm，样品室高度≥3.8cm；

样品要求

清洗时间：普通污染样品<2分钟，重度污染样品<10分钟。

仪器说明

通过离子减薄、超薄切片和电解双喷等透射电镜样品制备方法制备样品后，样品表面不可避免的会产生一些残留污染物，同时透射电镜样品杆在电镜中使用中也不可避免的会受到污染，污染物的存在极大的影响了高分辨图像的获取，从而也影响了必需通过高分辨图像来分析材料的部分科研要求。等离子清洗仪能够可用于去除样品及样品杆表面的污染，防止碳沉积降低图像分辨率及对样品微区分析造成误判，提高样品在低电压下的成像能力，在化学微量分析时提高其精度，保证EDX和EELS及STEM有更长时间的读取和获取次数。用这种低能高频等离子体清洗样品表面，不会改变样品元素成份和表面结构特征。

收费标准

校内用户

不单独收费，随透射电镜机时收费。

校外用户

不单独收费，随透射电镜机时收费。